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泡生法蓝宝石晶体生长炉
编号:SN20150801140932539
种别:泡生法蓝宝石晶体生长炉
  • 产物概述
  • 规格参数
  • 效劳支撑

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    LED衬底,窗口质料,手机屏,兵工范畴,智能装备,大规模集成电路SOI 和SOS等等。


    装备道理

    泡生法:正在真空情况中,经由过程电阻加热将三氧化二铝质料融化,经由过程籽晶指导,接纳周详上称重手艺停止微量提推发展优良光学级蓝宝石单晶。

    产物特性:
    1、PLC全自动操作系统
    X2手艺平台,晶体生长历程(除引晶外)实现齐自动化智能操纵,发展前提可高度复制;能抗干扰主动调治功率,包管晶体稳定性,实现人机界面控制系统取工艺严密联合。
    2、周详提推扭转机构
    专利设想,掌握精度下,传动安稳,抗干扰能力强,利于晶体生长。
    3、下稳定性热场
    准确的温度曲线掌握,先辈模仿软件设计,包管原材料纯度,热变形小,使用寿命少。
    4、高效水冷体系
    先辈的设想制造工艺,炉体冷却结果好,震惊小。
    5、PAC全自动操纵顺序
    触摸屏操纵,人机界面控制系统取工艺严密联合,可近程掌握,信息存储、剖析、列表。

    产物上风:
    1、收缩发展周期,比同类产品周期收缩2-3天。
    2、优秀的晶体质量,到达光学品级以上。
    3、低能耗
    装备及热场稳定性下,反复型号,消耗小,且装备能耗低于同类产品20%以上。
    4、下取材率
    成熟的装备制造手艺和少晶工艺,确保晶体取材率≥70%。
    5、研发上风
    规模化的研发基地,实时停止手艺考证及立异,确保产物及手艺的成熟性和前沿性。
    6、技术培训
    具有研发基地,可考证少晶,为客户供应专业技术培训、装备操纵和工艺指点。
    7、安全性下
    设置真空平安保护装置,平安机能更高。


    高效的热场模仿取设想


     

    大幅低落能耗


     

    80kg级长晶本钱组成


     

    120kg级长晶本钱组成

     

    技术指标: 

     

    TDR85K-II 

    TDR120K

    晶体生长周期

    18-20

    20-25

    晶体质量

    X射线双晶摇晃半峰宽<10”;均匀位错密度为1×103/cm2

    晶体最大直径

    300mm

    350mm

    装备能耗

    2万度

    3万度

    装备消耗

    重要部件使用寿命2年以上

    取材率(2吋)

    3200mm

    5800mm

    少晶本钱

    ¥3.46万元/

    ¥5.38万元/

    晶棒本钱(2吋)

    $1.77/mm

    $1.52/mm

     

    下取材率

    晶体规格

    80kg级(φmax300×H350mm 

    120kg级(φmax350×H400mm 

    4"晶棒

     

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