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PLD-450型激光镀膜装备
编号:SN20150801152302885
种别:激光镀膜装备
  • 产物概述
  • 规格参数
  • 效劳支撑

    装备用处

       用于制备超导薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、超硬薄膜等。适用于各大专院校、科研院所停止薄膜质料的科研取小批量制备。

     

    装备构成

        体系重要由溅射真空室、扭转靶台、抗氧化基片加热台、事情气路、抽气体系、安装机台、真空丈量及电控体系等局部构成。

     

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